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2024年6月26日 ——第六屆深圳國際半導(dǎo)體展覽會（簡稱SEMI-e）在深圳會展中心盛大啟幕。本屆展會的展出面積達(dá)60,000平方米，吸引了超過800家展商參展，預(yù)計將有逾60,000名行業(yè)專家與觀眾蒞臨現(xiàn)場，共同探索在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G通信、新能源汽車等領(lǐng)域中半導(dǎo)體技術(shù)的嶄新應(yīng)用與未來趨勢。
昊志機電在6號館的6H18展位上，展示了一系列精心打造的產(chǎn)品：劃片機主軸、高精度磨外圓電主軸、氣浮超精密晶圓研磨電主軸、晶圓超精密檢測空氣靜壓轉(zhuǎn)臺以及伺服驅(qū)動器和直驅(qū)電機等。旨在為客戶提供半導(dǎo)體等領(lǐng)域核心功能部件解決方案。
PART.01
匠心產(chǎn)品介紹
剛度與承載力優(yōu)于競品達(dá)14.3%
劃片機主軸系列
01
高剛度
主軸采用創(chuàng)新型結(jié)構(gòu)設(shè)計，剛度與承載力較市場同類產(chǎn)品顯著提升14.3%，能夠滿足硅晶圓、封裝基板、石英玻璃和陶瓷等材料的加工需求。
02
高精度
采用高精度接口設(shè)計，錐面跳動≤0.5μm，刀座裝刀面的徑向跳動和軸向竄動均≤1μm，主軸連續(xù)加工時伸長量波動≤0.3μm，達(dá)到國際先進(jìn)水平，確保高加工精度和高良品率。
03
高可靠性
優(yōu)化主軸防水、防塵性能，電機防護等級IP67，采用優(yōu)質(zhì)碳刷材質(zhì)，連續(xù)工作長達(dá)6525小時，增強耐用性，減少維護成本和停機時間，延長設(shè)備壽命，提升投資回報率。
04
高性價比
與專業(yè)變頻器廠家合作，為電主軸匹配最佳驅(qū)動參數(shù)，溫升降低16.7%，整合資源后，我們能夠為客戶節(jié)約30%的采購成本，提供了具有高性價比的解決方案。
02
高精度、高剛性、超強密封 晶棒加工利器
高精度磨外圓電主軸
01
高精度
內(nèi)、外砂輪座外圓與端面全跳動≤5um，內(nèi)砂輪座重復(fù)定位精度≤1um，主軸振動≤0.5mm/s，加工出來尺寸公差控制在0.002mm以內(nèi)，具有無與倫比的高精度的特性。
02
多功能
主軸配備兩個可控制伸縮的砂輪座，實現(xiàn)內(nèi)、外砂輪工況切換。
03
高剛性、大承載
外軸采用短跨距設(shè)計，配置大尺寸、大球徑軸承；內(nèi)軸則采用大軸徑軸系設(shè)計，并配置多層軸承支撐；主軸配置額定功率17.6kW、額定扭矩48Nm、最高轉(zhuǎn)速4000rpm的永磁電機，使主軸具有高剛性、低振動、高承載能力的特點。
04
超強前端密封
前端密封設(shè)計采用迷宮密封、氣幕密封與骨架油封相結(jié)合的方式，確保在0.2MPa的氣封條件下，能完全阻止異物進(jìn)入主軸，主軸的防護等級達(dá)到IP65。
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