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Guangzhou Haozhi Industrial Co., LTD.

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產(chǎn)品系列:高光及超精加工電主軸

型號(hào):DQFX-16506/8.5-WM

主軸配備高性能交流永磁同步電機(jī),連續(xù)額定輸出扭矩可達(dá)13.5N.m。

高性能電機(jī):主軸配備高性能交流永磁同步電機(jī),連續(xù)額定輸出扭矩可達(dá)13.5N.m,強(qiáng)勁扭力輕松應(yīng)對(duì)碳化硅等超硬材料的加工需求。

高效率冷卻系統(tǒng):三段式冷卻結(jié)構(gòu)提升冷卻效率,溫升小,熱穩(wěn)定時(shí)間≤20min,熱伸長波動(dòng)≤100nm。非接觸式軸芯中心出水結(jié)構(gòu)和砂輪冷卻流道同時(shí)冷卻軸芯和砂輪,提高加工過程中的精度保持和表面處理質(zhì)量,減少因溫度波動(dòng)導(dǎo)致的加工誤差。

高加工質(zhì)量:主軸全轉(zhuǎn)速振動(dòng)≤0.1mm/s,軸向剛度450N/μm,徑向剛度150N/μm,回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)誤差低至20納米,使得8英寸工件研磨后表面TTV<3μm,粗糙度Ra≤0.02μm,保障了晶圓等產(chǎn)品的高質(zhì)量加工。

技術(shù)參數(shù)
序號(hào) 項(xiàng)目 標(biāo)準(zhǔn)值

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